旋轉式濺射靶材相對平面式濺射靶材的優點

我被要求解釋為什麼有人願意使用旋轉式濺射靶材而不是平面式濺射靶材。

較大的靶材和新設備肯定涉及一些費用(假設您目前正在使用一種平面的系統),但大批量的工藝中(如卷對卷薄膜沉積)，優勢是導致所有權的成本更低:

• 與平面靶材相比,旋轉式的靶材給定長度的表面積更大。

• 旋轉式靶材的表面積更多,所以在給定的時間裏，磁電管的功能可以伸展在較大的面積上。這有助於靶材的冷卻,減少形成節結,減少弧的產生。

1. 因為旋轉式濺射靶材減少節結的形成,靶材的連續運行時間更長。
2. 一般在旋轉式靶材上的材料更多,可以減少運行時間。
3. 旋轉式靶材的利用率通常在～80%,相對於平面式靶材的～30%–可以減少廢料，增加運行時間。

• 旋轉式靶材非常適用於連續濺射工藝。連續工藝可以增加生產量，因為準備濺射室浪費的時間較短。

• 旋轉式靶材對於大數量的工藝成本更節省。它們可以為較長運行時間工藝提供很好的平臺,缺陷和下線的機會較少。

• 平面靶材仍最適用於原型工件或基本實踐,尤其在一次性不需要大量材料的時候。

如果你有興趣討論濺射靶材,請聯繫我們的小組:Solar@Indium.com

~Jim

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