旋转式溅射靶材相对平面式溅射靶材的优点

我被要求解释为什么有人愿意使用旋转式溅射靶材而不是平面式溅射靶材。

较大的靶材和新设备肯定涉及一些费用(假设您目前正在使用一种平面的系统),但大批量的工艺中(如卷对卷薄膜沉积)，优势是导致所有权的成本更低:

• 与平面靶材相比,旋转式的靶材给定长度的表面积更大。

• 旋转式靶材的表面积更多,所以在给定的时间里，磁电管的功能可以伸展在较大的面积上。这有助于靶材的冷却,减少形成节结,减少弧的产生。

1. 因为旋转式溅射靶材减少节结的形成,靶材的连续运行时间更长。
2. 一般在旋转式靶材上的材料更多,可以减少运行时间。
3. 旋转式靶材的利用率通常在～80%,相对于平面式靶材的～30%–可以减少废料，增加运行时间。

• 旋转式靶材非常适用于连续溅射工艺。连续工艺可以增加生产量，因为准备溅射室浪费的时间较短。

• 旋转式靶材对于大数量的工艺成本更节省。它们可以为较长运行时间工艺提供很好的平台,缺陷和下线的机会较少。

• 平面靶材仍最适用于原型工件或基本实践,尤其在一次性不需要大量材料的时候。

如果你有兴趣讨论溅射靶材,请联系我们的小组:Solar@Indium.com

~Jim

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