Les avantages des cibles de pulvérisation rotatives par rapport aux cibles de pulvérisation planes

On m’a demandé d’expliquer pourquoi quelqu’un voudrait utiliser des cibles de pulvérisation rotatives au lieu de cibles de pulvérisation planes.

Il y a certainement des dépenses pour des cibles plus grandes et un nouvel équipement (en supposant que vous utilisez actuellement un système plan) mais lors d’un traitement de volume élevé (comme le dépôt par roulement sur un film fin), les avantages conduisent à un coût de détention plus faible.

• Par rapport aux cibles planes, les cibles rotatives ont en général plus de surface par rapport à une longueur donnée.

• Les cibles rotatives ont plus de surface et la puissance du magnetron peut se répartie sur une plus grande surface pendant une durée donnée. Cela aide la cible à refroidir, réduit la formation de nodules et réduit l’occurrence de formation d’arcs.

1. Comme la pulvérisation rotative réduit la formation de nodules, les cibles peuvent fonctionner pendant plus longtemps.
2. Il y a en général plus de matière de pulvérisation sur une cible rotative, ce qui augmente la durée de fonctionnement.
3. L’utilisation de la cible rotative est d’environ 80 %, contre environ 30 % pour des cibles planes, ce qui réduit les déchets et augmente les durées de fonctionnement.

• Les cibles rotatives conviennent bien à des procédures de pulvérisation continue. Un traitement continu augmente la production car moins de temps est perdu pour préparer la chambre de pulvérisation. 
     

• Les cibles rotatives sont plus économiques pour les procédures à volume élevé. Elles fournissent une bonne plate-forme pour des procédures à fonctionnement long avec moins de probabilité de défauts et d’interruptions.

• Les cibles planes conviennent toujours mieux à un travail de prototype ou une expérience élémentaire, surtout lorsque de grandes quantités de matière ne sont pas nécessaires d’un coup.

Si vous souhaitez discuter des cibles de pulvérisation, contactez notre équipe à : Solar@Indium.com

~Jim

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