Las Ventajas de los Objetivos Rotativos de Esparcido en comparación con los Objetivos Planares de Esparcido

Me solicitaron que explique por qué alguien querría utilizar los objetivos rotativos de esparcido en lugar de los objetivos planares de esparcido.

Por cierto hay algún gasto en con los objetivos más grandes y equipamiento nuevo (asumiendo que actualmente usted está utilizando un sistema planar), pero en un proceso de gran volumen (como ser un depósito de película delgada "roll to roll" (rodillo a rodillo), las ventajas conducen a un costo inferior de propiedad: 

• Comparado con los objetivos planares, los objetivos rotativos generalmente tienen más área de superficie por largo dado.

• Los objetivos rotativos tienen más área de superficie, así la energía de magnetrón puede distribuirse sobre un área más grande en una cantidad determinada de tiempo.  Esto ayuda a mantener el objetivo en marcha más frío, disminuye la formación de nódulos, y reduce la ocurrencia de arcos.

1. Ya que el esparcido rotativo disminuye la formación de nódulos, los objetivos puede tener tiempo de marcha continuos más largos.
2. Existe generalmente más material disponible para esparcir en un objetivo rotativo, lo que aumenta los tiempos de marcha.
3. La utilización del objetivo rotativo es normalmente ~80%, en comparación con ~30% para los objetivos planares, lo que disminuye los desechos y aumenta los tiempos de ejecución.

• Los objetivos rotativos están bien adaptados para los procesos continuos de esparcido. El proceso continuo aumenta el rendimiento ya que hay menos tiempo gastado en preparar la cámara de esparcido. 

• Los objetivos rotativos son más rentables para procesos de gran volumen.  Proveen una buena plataforma para los procesos largos de tiempo de ejecución, con menos posibilidades de defectos y tiempo de inactividad. 

• Los objetivos planares todavía están mejor adaptados para el trabajo prototipo o experimentación elemental, especialmente cuando no se necesitan grandes cantidades de material enseguida. 

Si usted está interesado en discutir los objetivos de esparcido, comuníquese con nuestro equipo a: Solar@Indium.com

~Jim

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