ITO(銦-氧化錫)反應濺射目標回收/迴圈利用
週四，2011年2月3日，Eric Bastow[流覽簡歷]
ITO是使平板顯示器(監視器、電視機等)具有魔力的材料之一。反應濺射在薄層上時，它起到透明導電簿膜的作用。但是，使用ITO時反應濺射工藝的效率低。而且，隨著平板顯示器銷量的爆增，大量ITO結果被“浪費”。
重要的是要理解ITO的經濟性。ITO的主要處理器是銦(金屬)。銦是一種次珍貴的寶石，像金銀那樣在公開的市場上銷售。價格容易波動，就像其他的貴金屬一樣。所以，盡可能地回收未使用的ITO在經濟上存在動力。
正如前面所說，平板顯示器使用反應濺射ITO塗層。銦金屬必須首先被轉換成氧化銦，然後與適量的氧化錫混合。結果得到一種淺綠色粉末。
為使ITO可以使用，它必須首先被壓縮到一個反應濺射目標。平坦的反應濺射目標是反應濺射目標濺射ITO的主要形式。ITO反應濺射目標的幾何學常常是矩形或圓盤。壓縮該粉末致使產生比較一層黑暗的顏色。
反應濺射工藝還會不均勻地腐蝕反應濺射目標。目標材料以“跑道”模式腐蝕。這些使用的鎳-釩目標的圖像典型的“跑道”腐蝕模式(深谷)。
殘留的物質在反應濺射工藝中不能使用。對於ITO反應濺射目標，沒有被利用的部分可以表示存在大量銦。目標盡可能地回收或迴圈利用變得很有意義。
目標用戶可以將殘留的目標破碎變成大塊。
大塊ITO被送到回收中心，大塊ITO被轉換回銦金屬。迴圈利用又開始了。
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