IZO (Indium-Zinn-Oxid) Sputtertarget Wiederverwendung/Recycling

Donnerstag, 3. Februar 2011, von Eric Bastow [Biographie ansehen]

IZO ist eines der Materialien, das die Magie der Flachbildschirme (Monitore, TVs, usw.) möglich macht. Wenn man es als dünne Schicht aufsputtert, fungiert es als eine transparente, leitfähige Schicht. Das Sputterverfahren ist jedoch äußerst ineffizient bei seiner Verwendung von IZO. Und durch die Explosion an Flachbildschirmverkäufen, endet eine große Menge an IZO als Abfall.

Es ist wichtig die Wirtschaftlichkeit von IZO zu verstehen. Das wichtigste Vorprodukt von IZO ist Indium (Metall). Indium ist ein Halbedelmetall und wird auf dem freien Markt wie Gold und Silber gehandelt. Es ist wie die anderen Edelmetalle von Kursschwankungen abhängig. Es gibt also einen wirtschaftlichen Anstoß, so viel wie möglich des ungebrauchten IZO's wieder zu verwenden.
Wie bereits erwähnt, verwenden Flachbildschirme eine gesputterte IZO-Beschichtung. Das Indiummetall muss zuerst in ein Indiumoxid umgewandelt und dann mit der richtigen Menge an Zinnoxid gemischt werden. Das Ergebnis ist ein hellgrünes Pulver.
Damit das IZO verwendet werden kann, muss es zuerst in ein Sputtertarget komprimiert werden. Planare Sputtertargets sind die am häufigsten verwendete Sputtertargetform für das Sputtern von IZO. Die Geometrie des IZO-Sputtertargets ist häufig ein Rechteck oder eine Scheibe. Wenn das Pulver komprimiert wird, nimmt es eine dunklere Farbe an.
Fester Bestandteil des Sputterverfahrens ist die ungleiche Abtragung des Sputtertargets. Das Targetmaterial wird in Form eines "Rennstrecken"-Musters abgetragen. Diese Bilder eines verbrauchten Nickel-Vanadium-Sputtertargets zeigen das klassische "Rennstrecken"-Erosionsmuster (Tal).

Das übriggebliebene Material ist im Sputterverfahren unbrauchbar. Im Falle eines IZO-Sputtertargets kann die ungenutzte Portion eine erhebliche Menge an Indium darstellen. Es ist sinnvoll, so viel wie möglich vom Target wieder zu verwenden oder zu recyceln.

Der Targetnutzer wird den Targetrest in Stücke brechen.
Die IZO-Stücke werden an ein Recycling-/Wiederverwertungszentrum geschickt, wo die IZO-Stücke wieder in Indiummetall umgewandelt werden. Und der Kreislauf beginnt wieder von vorne.