ITO(铟-氧化锡)反应溅射目标回收/循环利用
周四，2011年2月3日，Eric Bastow[浏览简历]
ITO是使平板显示器(监视器、电视机等)具有魔力的材料之一。反应溅射在薄层上时，它起到透明导电簿膜的作用。但是，使用ITO时反应溅射工艺的效率低。而且，随着平板显示器销量的爆增，大量ITO结果被“浪费”。
重要的是要理解ITO的经济性。ITO的主要处理器是铟(金属)。铟是一种次珍贵的宝石，像金银那样在公开的市场上销售。价格容易波动，就像其它的贵金属一样。所以，尽可能地回收未使用的ITO在经济上存在动力。
正如前面所说，平板显示器使用反应溅射ITO涂层。铟金属必须首先被转换成氧化铟，然后与适量的氧化锡混合。结果得到一种浅绿色粉末。
为使ITO可以使用，它必须首先被压缩到一个反应溅射目标。平坦的反应溅射目标是反应溅射目标溅射ITO的主要形式。ITO反应溅射目标的几何学常常是矩形或圆盘。压缩该粉末致使产生比较一层黑暗的颜色。
反应溅射工艺还会不均匀地腐蚀反应溅射目标。目标材料以“跑道”模式腐蚀。这些使用的镍-钒目标的图像典型的“跑道”腐蚀模式(深谷)。
残留的物质在反应溅射工艺中不能使用。对于ITO反应溅射目标，没有被利用的部分可以表示存在大量铟。目标尽可能地回收或循环利用变得很有意义。
目标用户可以将残留的目标破碎变成大块。
大块ITO被送到回收中心，大块ITO被转换回铟金属。循环利用又开始了。
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