Collecte/recyclage de la cible de pulvérisation de l'oxyde d'indium-étain (ITO)

Vendredi 3 février 2011, par Eric Bastow [voir la biographie]

L’ITO est une des substances qui rend la magie des écrans plats (écrans, TV, etc.) possible. Lorsqu’il est pulvérisé sur une couche fine, il agit comme un film conducteur transparent. Cependant, la procédure de pulvérisation est très inefficace lors de l’utilisation d’ITO. Et avec l’explosion des ventes d’écrans plats, de grandes quantités d’ITO finiront en « déchets ».

Il est important de comprendre l’économie de l’ITO. Le principal précurseur de l’ITO est l’indium (métal). L’indium est un métal semi-précieux qui se négocie librement sur le marché comme l’or et l’argent. Il est soumis aux variations de prix comme les autres métaux précieux. Il existe donc une incitation à récupérer autant que possible l’ITO inutilisé.

Comme nous l’avons dit plus tôt, les écrans plats utilisent un revêtement d'ITO pulvérisé. Le métal d’indium doit d’abord être transformé en oxyde d'indium puis mélangé avec la bonne quantité d'oxyde d'étain. Le résultat est une poudre vert pâle.
Afin que l’ITO puisse être utilisé, il doit d’abord être compressé en cible de pulvérisation. Les cibles de pulvérisation planes sont la forme dominante de cible de pulvérisation pour la pulvérisation de l’ITO. La géométrie de la cible de pulvérisation de l’ITO est souvent un rectangle ou un disque. La compression de la poudre lui fait prendre une couleur plus foncée.
L’érosion inégale de la cible de pulvérisation est inhérente à la procédure de pulvérisation. Le matériau de la cible s’use selon le modèle d'une « piste de course ». Ces images d’une cible de pulvérisation nickel-vanadium utilisée montre l’érosion classique en forme de « piste de course » (vallée).

Le matériau restant est inutilisable dans la procédure de pulvérisation. Dans le cas d’une cible de pulvérisation d'ITO, la partie inutilisée peut représenter une quantité importante d'indium. Il est donc utile de récupérer ou de recycler autant de cible que possible.

L’utilisateur de la cible cassera la cible restante en morceaux..

L’ITO en morceaux est envoyé dans un centre de recyclage/récupération où il sera à nouveau transformé en métal d’indium. Et le cycle recommence
 

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