Trichlorure d'indium (InCl3) pour la fabrication de LED

Le trichlorure d'indium, le chlorure d'indium (III), ou InCl₃ porte de nombreux noms et a de nombreuses utilisations mais son utilisation principale est la création d'un précurseur de l'indium pour le DVC (dépôt de vapeur chimique). Le TMI (tri-méthyl indium) est un précurseur du dépôt d'indium, comme leTMG pour le dépôt de gallium. On parle de ces deux précurseurs pour MOCVD ici : http://www.indium.com/compounds/led-mocvd-precursors/#application

Voici donc le débit d'indium dans la fabrication de LED :

In + Cl --> chlorure d'indium (III)  --> TMI --> LED

Le dépôt de vapeur chimique est le seul moyen de déposer des couches d'indium sur une surface. Le dépôt de vapeur physique, comme la pulvérisation et l'évaporation, est courant. Voici ce que je pense de la façon dont les procédures de dépôt physique sont comparées: http://documents.indium.com/qdynamo/download.php?docid=1957

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