Indiumtrichlorid (InCl3) für die LED-Herstellung

Indiumtrichlorid, Indium(III)chlorid oder InCl₃ hat viele Namen und Verwendungen, aber hauptsächlich dient dieses Material zur Herstellung eines Indium-Precursors für die CVD (Chemical Vapor Deposition - Chemische Dampfabscheidung). TMI (Trimethylindium) ist ein Precursor für die Indiumabscheidung, ähnlich wie TMG für die Galliumabscheidung. Beide MOCVD-Precursoren werden hier diskutiert: http://www.indium.com/compounds/led-mocvd-precursors/#application

Hier ist nun der Reaktionsweg von Indium bei der LED-Herstellung:

In + Cl --> Indium(III)chlorid --> TMI --> LED

Die chemische Dampfabscheidung ist nur ein Weg, um Indiumschichten auf einer Oberfläche abzulagern. Die physikalische Dampfabscheidung, wie Sputtern und Aufdampfen, sind geläufig. Hier ist meine Sicht, wie sich chemische und physikalische Dampfabscheidungsverfahren vergleichen lassen: http://documents.indium.com/qdynamo/download.php?docid=1957

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