Tricloruro de Indio (InCl3) para la Fabricación de LED
El tricloruro de indio, cloruro de indio (III) o InCl3 pasa por muchos nombres y tiene muchos usos, sin embargo el uso principal de este material es crear un precursor de indio para la deposición de vapor químico (CVD, por sus siglas en inglés). TMI (trimetil indio) es un precursor para la deposición del indio, al igual que el TMG para la deposición del galio. Se discute aquí acerca de ambos precursores MOCVD: http://www.indium.com/compounds/led-mocvd-precursors/#application
Entonces aquí está el flujo del indio en la fabricación de LED:
In + Cl --> indium (III) chloride --> TMI --> LED
La deposición química del vapor solo es una manera de depositar capas de indio en una superficie. La deposición física del vapor, como ser esparcido y evaporación, son comunes: Esta es mi opinión acerca de como comparar los procesos de deposición química y física: http://documents.indium.com/qdynamo/download.php?docid=1957
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