Magnetrony設計影響電弧和轉換效率
該圖片(由美國安斯超科學公司Angstrom Sciences分享而來) 顯示一種平面目標板，開發出一種結節形成的高級情形。當材料重新沉積回到濺射靶材時出現結節。這是大多數濺射靶材最常見的形式–雖然結節會在目標表面上增加負荷，增加電弧的產生。
設備供應商只要供應下列設備，就可以抑制結節的產生:
- 高收率磁電管
- 全面腐蝕磁控管
- 旋轉式磁控管
平面目標的轉換效率取決於磁控管的設計。高收率和全面腐蝕磁控管在更多的濺射靶材表面清掃濺射工具的磁體 – 所以跑道更加相同。下一步就是轉移到可旋轉的磁電管，以減少電弧並及大地增加靶材的利用率!
請隨時和我聯繫，詳細地討論。
Jim Hisert
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