La conception du magnétron affecte la formation d'arcs et l'efficacité du transfert

Cette image (partagée par Angstrom Sciences) montre une plaque cible plate qui a développé un exemple avancé de formation de nodules. Les nodules se forment lorsque la substance est redéposée sur la cible de pulvérisation. C'est normal pour la plupart des cibles de pulvérisation bien que les nodules augmentent la formation d’arcs en accumulant une charge à la surface de la cible.

Les fournisseurs d’équipement peuvent éliminer la formation de nodules (et d’arcs) en proposant :

• des magnétrons à rendement élevé
• des magnétrons à érosion sur toute la face
• des magnétrons rotatifs

L’efficacité de transfert des cibles planes dépend de la conception du magnétron. Les magnétrons à rendement élevé et érosion sur toute la face font glisser les aimants de l’outil de pulvérisation sur une plus grande surface de la cible de pulvérisation et le passage est plus uniforme. L’étape suivante consiste à déplacer les magnétrons rotatifs pour réduire la formation d’arcs et augmenter considérablement l’utilisation de la cible !

N'hésitez pas à me contacter pour discuter de cela en détail.

Jim Hisert

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