Das Magnetrondesign beeinflusst den Lichtbogenüberschlag und die Transfereffizienz

Dieses Bild (von Angstrom Sciences) zeigt eine planare Targetplatte, die ein fortgeschrittenes Stadium mit Knotenbildung entwickelt hat. Knoten entstehen, wenn Material wieder zurück auf das Sputtertarget aufgetragen wird. Dies ist bei den meisten Sputtertargets normal – obwohl Knoten das Auftreten von Lichtbogenüberschlag erhöhen, indem sie eine Aufladung auf der Zieloberfläche aufbauen.

Gerätehersteller können die Knotenbildung (und den Lichtbogenüberschlag) unterdrücken, indem sie folgendes anbieten:

• Magnetrone mit hohen Ausbeuten
• Magnetrone mit ganzflächiger Erosion
• Rotationsmagnetrone

Die Transfereffizienz der planaren Targets basiert auf dem Magnetrondesign. Bei Magnetronen mit hohen Ausbeuten und mit ganzflächiger Erosion werden die Magnete der Sputtertools über einen breiteren Bereich der Sputter-Targetfläche gefahren - daher erreicht man eine gleichmäßigere Rennstrecke. Im nächsten Schritt werden die Rotationsmagnetrone verschoben, zur Minderung des Lichtbogenüberschlags und einer starken Zunahme der Targetauslastung!

Sie können mich gerne kontaktieren und dies im Detail mit mir diskutieren.

Jim Hisert

Translation powered by Avalon Professional Translation