Magnetrony设计影响电弧和转换效率
该图片 (由美国安斯超科学公司Angstrom Sciences分享而来) 显示一种平面目标板，开发出一种结节形成的高级情形。 当材料重新沉积回到溅射靶材时出现结节。这是大多数溅射靶材最常见的形式 – 虽然结节会在目标表面上增加负荷，增加电弧的产生。
设备供应商只要供应下列设备，就可以抑制结节的产生:
- 高收率磁电管
- 全面腐蚀磁控管
- 旋转式磁控管
平面目标的转换效率取决于磁控管的设计。高收率和全面腐蚀磁控管在更多的溅射靶材表面清扫溅射工具的磁体 – 所以跑道更加相同。下一步就是转移到可旋转的磁电管，以减少电弧并及大地增加靶材的利用率!
请随时和我联系，详细地讨论。
Jim Hisert
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