El Diseño de Magnetrón Afecta el Arco y la Transferencia de Eficiencia

Esta foto (compartida por Angstrom Sciences) muestra una placa de objetivo planar que ha desarrollado un caso avanzado de formación de nódulo. Los nódulos ocurren cuando el material es depositado nuevamente de regreso sobre el objetivo de esparcido. Esto es normal para la mayoría de los objetivos de esparcido, aunque los nódulos aumentan la ocurrencia de arcos por la acumulación en la superficie del objetivo.

Los proveedores de equipos pueden suprimir la formación de nódulos (y arcos) ofreciendo:

• magnetrones de alto rendimiento
• magnetrones de erosión completa
• magnetrones rotativos

La transferencia de eficiencia de los objetivos planares está basada en el diseño del magnetrón. Los magnetrones de alto rendimiento y erosión completa barren los magnetos de la herramienta de esparcido sobre más de la superficie del objetivo de esparcido, entonces el circuito es más uniforme. ¡El próximo paso es mover a los magnetrones rotativos para una disminución de arco y gran aumento en la utilización de objetivo!

Siéntase libre de comunicarse conmigo para discutir esto en detalle.

Jim Hisert

Translation powered by Avalon Professional Translation