優化零應力點
在操作溫度下消除濺射靶材的粘合應力 的一段重要引言是:“這意味著在室溫和操作溫度之間溫度差異的一半下粘合的靶材具有最有價值的特點，因為在大多數的材料上都不可能排除熱膨脹的誤配。”
是的，我們必須接受加熱裝配(如粘合的濺射靶材)致使材料膨脹。讓我們看一下我們如何在粘合中減少應力, 這涉及材料中的材料張力。
ε=αΔT
其中:
ε是張力
α為膨脹係數
ΔT是溫度的變化
而且：
當ε1不等於ε2 ，材料被粘合在一起時, 剪切力會在粘合區產生應力。
你們可以明確地看到, 我們操作的變數不多。保持張力ε1和ε2盡可能熟悉是關鍵。我們可以盡可能密切地配合系統或者確保ΔT保持低數值。你們採取的第一步是儘量配合墊板和目標材料的CTE (α)。如果無法做到, 應該考慮保持ΔT盡可能低的方法。
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