제로 스트레스 포인트 최적화

작업 온도에서 스퍼터링 타겟의 접합 스트레스 제거 논문에서 인용한 중요 문구: "이는 상온과 작업 온도 사이 온도 차이의 반으로 접합된 타겟은 전체적으로 가장 바람직한 특징을 가질 것이라고 제안한다. 그 이유는 대부분의 물질에서 열 팽창을 배제하는 것은 불가능하기 때문이다."

맞습니다. 우리는 히팅 어셈블리(접합된 스퍼터링 타겟 등)가 물질을 팽창하게 한다는 사실을 받아들여야 합니다. 물질의 차분 변형률과 상관관계가 있는 접합 스트레스를 최소화할 수 있는 방법을 살펴 봅시다.

ε=αΔT

조건:

          ε는 변형률이고

α는 팽창계수이며

ΔT는 온도변화입니다.

그리고,

ε1과 ε2가 동일하지 않은 상태에서 물질이 접합될 때 전단력으로 인해 접합부에 스트레스가 발생합니다.

명확히 알 수 있는 바와 같이, 우리가 조절할 수 있는 변수가 많지 않습니다. ε1 및 ε2 변형률을 최대한 비슷하게 유지하는 것이 중요합니다. 계수를 최대한 근사하게 일치시키거나 ΔT를 낮게 유지할 수 있습니다. 첫번 째 단계는 바닥판과 타겟 물질의 CTE(α)를 일치시키는 것입니다. 이것이 가능하지 않을 때는 ΔT를 최저 유지하는 방법에 관해 생각할 때입니다.

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