Optimieren des spannungsfreien Punktes

Ein wichtiges Zitat aus Beseitigen der Haftspannung von Sputter-Targets bei Betriebstemperaturen ist: “Dies lässt vermuten, dass ein Target, dass bei der Hälfte des Temperaturunterschieds zwischen Raum- und Betriebstemperatur verbunden wird, die insgesamt wünschenswertesten Charakteristiken besitzen würde, da man nicht übereinstimmende Wärmeausdehnungskoeffizienten bei den meisten Materialien nicht beseitigen kann.”

Ja, wir müssen die Tatsache hinnehmen, dass Heizungsbaugruppen (wie verbundene Sputter-Targets) die Materialien ausdehnen. Lassen Sie uns anschauen, wie man die Spannungen in der Verbindung minimieren kann, die den unterschiedlichen Spannungen in den Materialien entsprechen.

ε=αΔT

Wobei:

          ε die Spannung ist

α der Ausdehnungskoeffizient ist

ΔT die Temperaturveränderung darstellt

Und:

Wenn ε1 ungleich ε2 ist und die Materialien miteinander verbunden sind, verursachen die Scherkräfte Spannungen in der Verbindungsfläche.

Wie Sie eindeutig sehen, können wir nicht all zu viele Variablen verändern. Der Schlüsse ist, die Spannungen ε1 und ε2 möglichst gleich zu halten. Wir können entweder den Koeffizienten möglichst weit anpassen oder wir können sicherstellen, dass ΔT niedrig bleibt. Als erstes sollten Sie versuchen den Wärmeausdehnungskoeffizienten (α) ihrer Montageplatte und des Targetmaterials anzupassen. Wenn dies nicht möglich ist, wird es Zeit, über Möglichkeiten nachzudenken, um ΔT so niedrig wie möglich zu halten.

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