2013 SVC 介绍: 使用反应性的多层纳米箔薄粘合高温的、高强度的、无Pb的 金属溅射靶
{0><}0{>我不是在今年SVC (真空镀膜机协会)上唯一介绍新型NanoFoil®数据的人。我们小组的另一个成员将出席会议,告诉你们他为了创造性能更加的靶材粘合一直以来所做的突破性工作。他的摘要是这样写的:
“人们都希望高温的 (>300°C) 间金属粘合工艺能够产生平整的, 无应力的靶材装配,使得靶材能够在更高的温度下运行较长时间。我们在高达380°C下使用高温热喷雾的Zn/Al显示一种新的NanoBond®。我们将把它和一般在 NanoBond®工艺中使用的以Sn为基础的焊料作比较,尤其研究一下剪切强度, 真空分析以及横截面分析。”
请到2013 SVC技术展览会上遇见铟公司小组吧!
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