2013 SVC Präsentation: Beseitigen der Haftspannung von Sputter-Targets bei Betriebstemperaturen

Ich lade Sie zu der Sitzung Emerging Technology (Aufkommende Technologie) der  SVC (Society of Vacuum Coaters) Konferenz am Mittwoch, den 24.  April ein – auf der ich über interessante neue Verfahren zur Verwendung von NanoFoil^® diskutieren werde, um Sputter-Target-Bonds mit besserer Betriebsleistung zu erhalten.

Hier ein wenig Hintergrundwissen, wenn Sie ein paar unserer vergangenen Präsentationen auf der SVC in den letzten Jahren verpasst haben: Es ist bewiesen, dass NanoFoil^® Spannungen durch CTE (Wärmeausdehnungskoeffizienten) beseitigt, die während des Bondens der Sputter-Targets weitergegeben werden. Laut Abstrakt:

“Reaktives Mehrschichtfolien-Bonding wurde verwendet, um Spannungen in der Sputter-Target-Einheit zu beseitigen, die durch nicht übereinstimmende Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen dem Target und den Montageplattenmaterialien verursacht werden. Da ein großer Anteil der Materialien (mit Ausnahme die paar innersten Mikrometer) während des reaktiven Mehrschichtfolien-Bondingverfahrens auf Raumtemperatur bleibt, werden die Materialien bei Umgebungstemperatur mit einer "Spannungs-Nullstelle" gebondet” Diese Verbindung mit geringer Spannung reduziert die Auswirkungen der Wärmeausdehnung, wodurch es zu einer geringeren Durchbiegung der Sputter Target-Einheit kommt. Bei den meisten hochtemperaturigen großflächigen Bondinganwendungen, werden Targets, die sich nach dem Bonden durchbiegen, mechanisch unter Spannung gesetzt, bis sie wieder eben sind. Dadurch addieren sich die durch das Bonding und Ebnen entstandenen Spannungen. In diesem Dokument werden wir die Möglichkeit entdecken, wie man die"Spannungs-Nullstelle" auf andere Temperaturen einstellt, um die Spannung und Durchbiegung während des Betriebs weiter zu reduzieren.

Machen Sie sich keine Sorgen, wenn die Präsentation nicht all Ihre Fragen bezüglich des Target-Bondings beantwortet – das Indium Team wird da sein, um sich mit Ihnen zu unterhalten. Sie werden NICHT enttäuscht sein. Wir sehen uns dort! hermes replica handbags

~Jim

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