동작하는 자기물 및 스퍼터링 타깃 재질의 활용: Frank Zimone과의 인터뷰

 2011년 7월 10일, 일요일 / Jim Hisert 작성[이력 참조]

저는 최근 Frank Zimone (비즈니스 개발 VP/Angstrom Sciences)과 스퍼터링 타깃의 활용에 관해 얘기를 나눈 바 있습니다. 그가 강조한 포인트들은 다음과 같습니다: "타깃에서 벗어나 튀어버린 재질의 무게"에 따라 대부분의 사람들은 ‘타깃 활용’을 정의하고 있지만, 과정의 효율성 측면에서 판단한다면 제품에서 정작 중요한 것은 재질 그 자체입니다. Frank 는 다음과 같이 말합니다:

“현재 일어나고 있는 일들은 이미 많은 회사에서 목격해온 일인데, “시장을 차지하기 위해서” 좋은 제품의 생산을 위한 공정을 서둘러 만들고 난 다음, 지금은 모두 생산비용의 절감을 위한 공정의 개발에 매달리고 있습니다. 이것은 더 많은 타깃 물질을 박막 필름 전지 위에 입히고 생산장비의 다른 부위에는 그 물질들이 덜 남아 있도록 해서 손실을 줄일 수 있다면 가능한 일입니다.”

“저희는 최근 다수의 경쟁회사들이 생산하는 고급 자기물질들에 대한 평가를 하는 어느 주요 광전 변환 공학 회사와 공동으로 진행하던 연구를 완료하였습니다. 동일한 공정 조건(파워 밀도, 라인 스피드, 등등) 하에서 개별적으로 진행한 비교 시험에서, 손실된 무게 중량으로 측정했을 때, 두 타깃은 ~85%까지 활용되었습니다.” (어플리케이션에 특정된 것임을 염두에 두십시오) “끊임없이 유사한 잔유물을 남기는 것과의 주요한 차이는 자기물질 한 세트가 회로기판 위에 20% 이상의 재질을 생산했다는 것입니다.”

저는 이 시점에서 아주 당연한 질문을 던졌습니다: “그게 가능합니까?”

Frank 가 이렇게 답변했습니다:

“자기물질 위에 놓인 한 세트로 서로 더 가까이 밀착된 2개의 부식 레이스트랙을 얻을 수 있었고 타깃의 표면에 더 수직으로 세울 수 있었습니다. 이로 인해 더 높은 다이내믹 축적률을 달성하고 챔버의 방어막에서 손실되는 물질을 줄일 수 있었지요.”

사실 이것은 여러분들이 스퍼터링의 구조를 이해하신다면 간단한 개념인데, Frank 도 대부분의 고객들이 학문적인 측면에서는 이것을 알고 있지만, 적절히 테스트할 시간과 자료들이 없다는 것에 동의했습니다. 그는“더 많은 기존의 고객들이 이러한 특정한 이슈에 대해 관심을 보이고 있습니다” 라고  부언했습니다.

동작하는 자기물질에 관해 다 자세히 알고 싶으시면, FZimone@angstromsciences.com 으로 Frank Zimone 에게 연락하시거나, 이번 주의InterSolar 전시회에서 저에게 잠깐 들리세요!

그럼 거기서 뵙기를 기대합니다. Indium Corporation 부스 #5325에 오셔서 저를 찾으세요.

~Jim

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