Materialausnutzung von beweglichen Magneten und Sputtertargets: Ein Interview mit Frank Zimone

Sonntag, 10. Juli 2011 von Jim Hisert [Biographie ansehen]

Ich habe neulich mit Frank Zimone (VP der Geschäftsentwicklung bei Angstrom Sciences) über die Ausnutzung von Sputtertargets diskutiert. Er betonte: obwohl die meisten Leute die ‘Targetausnutzung’ als "Gewichtsanteil des Materials, das vom Target gesputtert wird" definieren würden, ist es nur das Material, das es zu dem entscheidenden Produkt macht, wenn man die Effizienz eines Verfahrens beurteilt. Frank sagte:

"Was momentan sehen wir, dass viele Firmen, die nach dem Ansturm auf die Entwicklung eines Verfahrens, um ein gutes Produkt zu erzeugen und "auf den Markt zu bringen", nun am Verfahren arbeiten, um Geld zu sparen und die Produktionskosten zu senken. Dies kann erzielt werden, indem man mehr vom Targetmaterial auf die Dünnfilmzellen aufträgt und weniger verschwendet, indem man weniger Material woanders im Herstellungswerkzeug abscheidet.

"Wir haben kürzlich eine Studie mit einer großen Photovoltaikfirma beendet, die verbesserte Magnete von vielen Konkurrenten auswertete.  Anhand eines Back-to-Back-Vergleichs mit identischen Verfahrensbedingungen (Leistungsdichte, Bandgeschwindigkeit, etc.) wurden beide Targets zu ~85% verbraucht, wie anhand des Gewichtsverlust gemessen wurde.” (Denken Sie daran – das ist anwendungsabhängig.) "Der Hauptunterschied zwischen den scheinbar ähnlichen Abscheidungen war der, dass ein Satz Magnete 20% mehr Material auf dem Substrat erzielte."

An diesem Punkt habe ich die übliche Frage gestellt: “Wie war das möglich?”

Frank antwortete:

"Ein Satz Magneten konnte die 2 Erosionsgräben enger aneinander und senkrechter zur Targetoberfläche bringen. Dies hat sich in einer höheren dynamischen Abscheidungsrate und weniger verschwendetem Material auf den Kammerabschirmungen bemerkbar gemacht."

Es ist ein einfaches Konzept, wenn man die Physik des Sputterns versteht und Frank stimmte zu, dass die meisten Kunden dies aus einer akademischen Sichtweise kennen, aber nicht die Zeit/Ressourcen besitzen, um vernünftig zu testen. Er sagte, “Etabliertere Kunden sehen sich nun mit diesen Problemen konfrontiert.”

Um mehr über bewegliche Magneten zu erfahren, kontaktieren Sie Frank Zimone über FZimone@angstromsciences.com oder kommen Sie diese Woche zur InterSolar und sehen Sie ihn dort!

Ich werde ebenfalls da sein. Sie finden mich bei der Indium Corporation-Ausstellung #5325.

~Jim