Le magnétisme de déplacement et l'utilisation de la pulvérisation du matériau cible : entretien avec Frank Zimone

Dimanche 10 juillet 2011 par Jim Hisert [voir biographie]

J’ai récemment discuté avec Frank Zimone (Vice Président du développement d’entreprise chez Angstrom Sciences) sur l’utilisation de la pulvérisation de la cible. Il a souligné que : malgré que « le poids du matériau ait entraîné une pulvérisation en dehors de la cible » c’est ainsi que la plupart des gens décrivent « l’utilisation ciblée » lorsqu’il juge de l’efficacité d’une procédure, c’est seulement le matériau appliqué au produit qui est important. Frank a déclaré :

« Ce qui se passe maintenant est que nous constatons que de nombreuses sociétés, après avoir été pressées de mettre en place une procédure pour créer un bon produit et « pénétrer le marché », travaillent sur l’amélioration de la procédure afin de faire des économies en réduisant les coûts de production. Cela est possible est mettant plus de matériau cible sur des cellules de film fin et en gaspillant moins en déposant moins de matériau ailleurs que dans l’outil de production.

« Nous récemment réalisé une étude avec de grandes sociétés photovoltaïques qui ont évalué le magnétisme amélioré de plusieurs concurrents. Lors d’une comparaison dans des conditions de procédure identiques (densité électrique, vitesse de la chaîne, etc.) les deux cibles ont été utilisées à environ 85 % tel que cela a été mesuré en perte de poids. (souvenez-vous que cela est particulier à l'application) « La principale différence entre les dépôts apparemment semblables est qu'un jeu de magnétisme a apporté 20% de matériau en plus sur le substrat. »

C’est alors que j’ai posé une question évidente : « Comment cela a-t-il été possible ? »

Franck a répondu :

« Un jeu de magnétisme a pu aligner de façon plus proche deux traces d’érosion et les placer de façon plus perpendiculaire par rapport à la surface cible. Cela se traduisait en un rythme de dépôt plus rapide et par moins de matériau gaspillé sur les protections de la chambre.

C’est un concept simple si vous comprenez la physique de la pulvérisation et Frank a convenu que la plupart des clients connaissaient cela d’un point de vue théorique mais n’avaient pas le temps/les ressources pour véritablement tester. Il a dit que « De plus en plus de clients connus se penchaient maintenant sur ces questions ».

Pour en apprendre plus sur le magnétisme de déplacement, contactez Frank Zimone à FZimone@angstromsciences.com ou passez le voir à InterSolar cette semaine !

J’y serai également. Vous me trouverez au stand d’Indium Corporation n°5325.

~Jim