粘合的濺射靶材是一種雙金屬裝配
每當兩種不同熱鼓脹係數的材料粘合在一起時，它們都會隨著溫度的改變而膨脹和收縮。
假設這兩種材料被牢固地粘合在一起，兩件事情會隨著溫度的改變而發生: 1)粘合破裂 2)裝配將彎曲以調節應力。這兩種結果對於濺射靶材都是災難性的。重要的是要認識到這是溫度改變的一種功能。限制溫度的改變，你可以降低CTE (熱膨脹係數)失諧的影響。
答案見於在操作溫度下消除濺射靶材的粘合應力的總結:
“反應性的多層箔薄可以用於在室溫下形成很低的粘合。這對於濺射靶材的裝配尤其重要。同樣的粘合工藝也可以在零應力點的高溫或接受操作溫度下進行。通過一種牢固粘合的雙金屬裝配, 無法忽視在大範圍溫度裏發生彎曲，但其影響可以在戰略溫度下通過選擇性地設置零應力點被減輕。”
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