접합 스퍼터링 타겟은 이원금속 어셈블리입니다

열팽창 계수값이 다른 두 물질이 접합할 때 항상 온도 변화에 따라 팽창 및 수축합니다.

이러한 두 물질이 강하게 접합되었다고 가정하면, 온도 변화에 따라 다음과 같은 두 현상이 발생할 수 있습니다. 1) 접합이 깨지거나 2) 어셈블리는 스트레스를 수용하기 위해 구부러질 것입니다. 이 두 결과는 모두 스퍼터링 타겟에 참담한 결과를 초래할 수 있습니다. 여기서 간과해서는 안 되는 중요한 사항은 이는 온도 변화의 작용이라는 것입니다. 온도 변화를 제한하면 CTE(열팽창 계수) 효과의 불일치를 줄이게 됩니다.

이 문제에 대한 답변은 작동 온도에서 스퍼터링 타겟의 접합 스트레스 제거의 결론에서 다음과 같이 언급됩니다.

"상온에서 저스트레스 접합을 형성하기 위해 반응성 다중 포일을 사용할 수 있다. 이는 스퍼터링 타겟 어셈블리에 특히 중요하다. 거의 작동 온도에서 또는 제로 스트레스 포인트를 위해 온도를 상승시켜 동일한 접합 공정을 또한 실행할 수 있다. 강하게 접합된 이원금속 어셈블리 및 대온도차 상의 곡률을 무시할 수 없지만, 그 효과는 전략적 온도에서 제로 스트레스 포인트를 선별적으로 설정하여 완화할 수 있다.

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