粘合的溅射靶材是一种双金属装配
每当两种不同热鼓胀系数的材料粘合在一起时， 它们都会随着温度的改变而膨胀和收缩。
假设这两种材料被牢固地粘合在一起，两件事情会随着温度的改变而发生: 1) 粘合破裂 2) 装配将弯曲以调节应力。这两种结果对于溅射靶材都是灾难性的。重要的是要认识到这是温度改变的一种功能。限制温度的改变，你可以降低CTE (热膨胀系数)失谐的影响。
答案见于在操作温度下消除溅射靶材的粘合应力的总结:
“反应性的多层箔薄可以用于在室温下形成很低的粘合。这对于溅射靶材的装配尤其重要。同样的粘合工艺也可以在零应力点的高温或接受操作温度下进行。通过一种牢固粘合的双金属装配, 无法忽视在大范围温度里发生弯曲，但其影响可以在战略温度下通过选择性地设置零应力点被减轻。”
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