濺射靶材的完美粘合
我們為什麼對濺射靶材的粘合如此感興趣呢?這是重要的，因為真正預製的濺射靶材允許很大的靈活性以及較高的出產量。在操作溫度下消除粘合應力的介紹:
“…所觀察，用反應性的多層箔薄粘合作為一種當地的熱源，允許較高溫度的焊錫膏粘合靶材和濺射時的墊板。這允許使用較高的密度與較高的操作溫度，因為粘合一般地說是靶材裝配在較高溫度下失敗。
得知低應力的狀況可以設定在室溫下，從邏輯上講，第二步是在其他溫度下設定低應力點。如果理論是正確的話，零應力點可以設定在操作溫度下，然後濺射靶材就可以操作，沒有熱膨脹產生的應力。這允許更高的濺射能力密度，結果導致生產量的提高。”
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