완벽한 스퍼터링 타겟 접합

왜 우리는 타겟 본딩을 중요시할까요? 이게 중요한 이유는 성능 좋은 스퍼터링 타겟은 공정 유연성을 개선하고 처리량을 증가시키기 때문입니다. 작동 온도에서 스퍼터링 타겟의 접합 스트레스 제거의 서문:

"...반응성 다중 포일을 국부 열원으로 사용하는 본딩에서 타겟과 스퍼터링용 바닥판을 접합하기 위해 더 높은 온도의 납땜을 사용할 수 있다는 사실이 관찰되었다.. 이로 인해 더 높은 출력밀도 및 더 높은 작동 온도를 사용할 수 있는데, 그 이유는 이 접합은 일반적으로 고온에서 실패하는 타겟 어셈블리의 첫 번째 부분이기 때문이다.

저스트레스 조건을 주변 온도에서 설정할 수 있다는 것을 인지한 후 다른 온도에서의 저스트레스 포인트 설정을 살펴보는 것은 논리적인 다음 단계이다. 이 이론이 맞을 경우 작동 온도에서 제로 스트레스 포인트를 설정할 수 있으며, 그런 연후 스퍼터링 타겟은 열팽창으로 발생하는 스트레스 없이 작동할 수 있을 것이다. 이는 더 높은 스퍼터링 출력 밀도를 허용하여 처리량를 증가하게 할 것이다."

Translation powered by Avalon Professional Translation