溅射靶材的完美粘合
我们为什么对溅射靶材的粘合如此感兴趣呢?这是重要的，因为真正预制的溅射靶材允许很大的灵活性以及较高的出产量。在操作温度下消除粘合应力的介绍:
“…所观察，用反应性的多层箔薄粘合作为一种当地的热源，允许较高温度的焊锡膏粘合靶材和溅射时的垫板。这允许使用较高的密度与较高的操作温度，因为粘合一般地说是靶材装配在较高温度下失败。
得知低应力的状况可以设定在室温下，从逻辑上讲，第二步是在其它温度下设定低应力点。如果理论是正确的话，零应力点可以设定在操作温度下，然后溅射靶材就可以操作，没有热膨胀产生的应力。这允许更高的溅射能力密度，结果导致生产量的提高。”
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