Estaño de alta pureza para litografía EUV

Indium Corporation produce estaño de muy alta pureza - consulte aquí: https://www.indium.com/products/metals/tin/ - y me encantaría explicar por qué hemos invertido en esta tecnología:

Cada nueva generación de chips de silicio necesita su Prometeo, la tecnología clave que proporciona la longitud de onda de luz más baja que se necesita para imprimir características en una oblea. Esta secuencia de pasos se ha utilizado durante décadas y se conoce como litografía: Generar un montón de fotones y darle forma a un haz que sea lo suficientemente brillante, crear los elementos ópticos para dirigir el haz hacia una máscara de definición de características, proyectar la imagen resultante en una oblea recubierta de fotorresistor, grabar el patrón en la oblea y finalmente quitar la resistencia restante para el siguiente proceso en la fabricación - no es tan fácil como suena.

La reducción de la longitud de onda es lo que se encuentra en el núcleo de este proceso y sabemos que la industria de semiconductores ha logrado hacer esto muchas veces porque todos hemos oído hablar de la ley de Moore.

Entonces, ¿cómo se produce exactamente, con un brillo significativo, un haz de luz a, digamos, 13,5 nm, que es necesario para los procesos de 5 nm y 3 nm? Hasta hace poco, la respuesta tenía que ser: "Fácil, se usa un sincrotrón". Estos aceleradores de partículas están disponibles en todo el mundo. Alerta de Spoiler: Sólo hay 60 de ellos, y sólo los institutos de investigación financiados por el gobierno tienen los medios para construirlos, cuentan con personal y pueden operarlos.

La siguiente respuesta posible podría ser - "bueno, seguramente se puede utilizar un láser de algún tipo". El problema es que los láseres de esta longitud de onda son algo caros también. A 13,5 nm, estamos viendo un tipo de longitud de onda de rayos X "blandos". Los láseres están disponibles, pero todavía no ofrecen lo que se necesita.

Entonces, utilice plasmas: Tome un cierto elemento, ionícelo y obtendrá un plasma que emite luz alrededor de una cierta frecuencia que es única para el elemento utilizado. Si alguna vez han mirado a través de la ventana en una cámara de chisporroteo en funcionamiento, ha visto el resplandor púrpura emitido por un plasma de argón (consulte la imagen a continuación).

Lo que finalmente nos lleva de nuevo al estaño: La luz de un plasma de estaño tiene un espectro de emisión alrededor del pico de 13,5 nm que se necesita. Y, lo que es crucial, el plasma de estaño ofrece una alta eficiencia de conversión que resulta en el alto brillo requerido.

La otra buena noticia es que el estaño es un elemento con un gran uso en el mundo de hoy. Sólo en la industria electrónica, se utiliza en la mayoría de las aleaciones de soldadura; aquí en Indium Corporation, hemos trabajado con estaño durante mucho tiempo.

También hemos pasado varios años refinando estaño y empujando su pureza más allá del grado estándar disponible (4N, o 99,99%) a 5N y más allá de 6N, para crear el nivel de pureza que se necesita para esta nueva aplicación. Indium Corporation está lista para apoyar esta nueva y emocionante aplicación que desempeñará un papel esencial para mantener la ley de Moore durante muchos años.