Cu-Ga 로타리 스퍼터링 타깃 테스팅
Q1) 이 사진에 보이는 것은 과연 무엇일까요?
A1) 이것은Angstrom Sciences, Inc.의 테스트 랩에서 스퍼터되고 있는 CuGa(동/갈륨) 타깃입니다. CuGa 로타리 스퍼터링 타깃들은 CIGS 침전 업계에서는 점점 더 대중화되어 가고 있기 때문에 AS 캐소드에서는 이들이 어떻게 작용하는지를 확인하고 싶었던 것입니다. 결과: 최적의 조합이었습니다!
Angstrom Sciences Lab
Q2) CIGS 태양전지(박막 필름 기술)의 제조과정에서 Cu-Ga 로타리 타깃은 그동안 왜 더욱 대중화되지 않았던 것일까요?
A2) 역사상 가장 큰 문제점은 전통적인 캐스트 타깃에서 동과 갈륨을 분리하는 것이었습니다. 이것이 진공증착기 소사이어티 테크콘에서 우리 부스를 찾아 와서 풀 사이즈 CuGa 디스플레이 타깃을 확인했던 고객들의 주된 관심사였습니다. 전시된 제품이 제조 스퍼터링 공정에서 실제로 잘 작동할 것인지에 관한 질문은 자연스러운 것이지요. 이 제품이 잘 작동할 수 있도록 우리는 자체의 독점적인 하이브리드 강화 기술을 사용해서 제조를 해야 했습니다.
흥미진진한모든세부사항들을공개하지는않더라도, 그것은배움의한과정이었고더욱개선된응용파워의설정을가능하도록한약간의설치과정상의 문제들이있었습니다. 비록미세조정은고객들의고유한사항이며그들을우리와공유할수는없겠지만고객들은우리의 CuGa 타깃의결과에만족해하셨습니다. 이제우리는이러한유형의타깃에사용될수있는최대치의파워에관해더욱잘이해를할수있게되었습니다. 장비의공급자와함께작업하는것이그렇게중요한이유가바로이것이지요.
사용된타깃을살펴보았을때한가지분명한것은자석순간멈춤으로인한부식홈이없다는것입니다– 사용된전자관이갖고있는좋은기능중의하나이지요. 그사용된타깃은제상사의사무실에전시되어있습니다. 그것은우리가타깃을스퍼터링하고자료를수집하며작업을같이한팀을통해배우면서Angstrom Science의직원들과함께했던시간들을다시생각할수있게해줍니다.
사용된타깃을살펴보았을때한가지분명한것은자석순간멈춤으로인한부식홈이없다는것입니다– 사용된전자관이갖고있는좋은기능중의하나이지요. 그사용된타깃은제상사의사무실에전시되어있습니다. 그것은우리가타깃을스퍼터링하고자료를수집하며작업을같이한팀을통해배우면서Angstrom Science의직원들과함께했던시간들을다시생각할수있게해줍니다.
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