Testen von rotierenden Cu-Ga Sputtertargets
F1) Was zum Teufel sehen wir in diesem Bild?
A1) Es ist ein CuGa (Kupfer-Gallium) Target, das im Angstrom Sciences, Inc.-Testlabor gesputtert wird. Da rotierende CuGa Sputtertargets in der CIGS Abscheidungsindustrie immer beliebter werden, wollten wir wissen, wie sie mit AS-Kathoden arbeiten. Das Ergebnis: Es ist eine Erfolgskombination!
Angstrom Sciences Lab
F2) Warum sind rotierende Cu-Ga Targets nicht beliebter bei der Herstellung von CIGS Solarzellen (eine Dünnschichttechnologie)?
A2) Das große Problem war immer die Segregation von Kupfer und Gallium in herkömmlichen gegossenen Targets. Dies war ein wichtiges Thema für jene, die am Stand auf der Society of Vacuum Coaters TechCon vorbei kamen und sich über unsere ausgestellten CuGa-Targets in Originalgröße erkunden wollten. Es ist nur normal, dass man in Frage stellt, ob ein Ausstellungsstück auch beim Sputterverfahren in der Herstellung funktioniert. Wir mussten dieses Produkt mithilfe unserer geschützten Hybrid-Konsolidierungstechnik herstellen, damit es funktioniert.
Was einem am verbrauchten Target sofort auffällt, sind die fehlenden Erosionsriefen infolge der Haltezeit im Magnetfeld - eine nettes Merkmal des verwendeten Magnetrons. Das verbrauchte Target ist im Büro meines Chefs ausgestellt. Es dient als Erinnerung an die Zeit, die wir mit den Leuten von Angstrom Science verbracht haben, um das Target zu sputtern, Daten zu sammeln und vom Team zu lernen.
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