인듐 재활용: 로터리 대 플래이너 인듐, CIG 및 ITO 타겟

로터리와 플레이너 스퍼터링 타겟 사이의 차이점은 전에 논의했지만, 여기서는 로터리와 플레이너 인듐 함유 스퍼터링 타겟 모두의 회수/재활용 측면에 초점을 둘 거에요. 빨리 상기하기 위해서:

• 로터리 타겟은 연속적인 스퍼터링 공정에 매우 적합해요. 스퍼터링 챔버 준비를 위한 시간 낭비가 줄어들기 때문에 연속적인 공정에서 처리량이 증가하죠.
• 로터리 타겟은 높은 볼륨 공정에 더 비용 효과적이에요. 그들은 결함과 다운타임 기회가 적은, 긴 런타임 공정에 좋은 플랫폼이죠.
• 플레이너 타겟은 특히 재료의 양이 즉시 필요하지 않을 때, 프로토타입 작업이나 원소 실험에 여전히 가장 적합해요.

이제 저희 고객들을 위한 회수 공정 작업을 살펴보기로 해요:

일반적으로, 저희 고객들을 위한 공정은 로터리나 플레이너 타겟에서 같아요. 재료 샘플을 보내고 분석하죠. 다음 단계는 재료에 대한 평가/인용이에요. 모든 것이 좋아 보이는 경우, 사용된 타겟은 그 후 인듐 코퍼레이션에 보내졌고 고객은 재료 비용을 부담했어요. 대안적으로, 회수 비용은 새 인듐이나 새 타겟을 위해서 사용될 수 있어요.

재료 재사용에 관한 한, 단순히 로터리 마그네트론 기술에 비해 내재한 효율성이 부족하여, 보통 인듐이 더 함유된 재료가 플레이너 타겟에 남았어요. 플레이터 타겟을 교체하기 위해서, 저는 NanoBond® 타겟을 제안해드리고 싶어요. 로터리 타겟에 대해서는, 인듐 재료는 “하이브리드 통합” 공정에서 보강 튜브에 직접 제조될 수 있어요. 양 기술은 가능한 최저 접착 기포발생 수준을 제공하죠.

회수에 대한 문의사항은 indiumreclaim@indium.com으로 저희에게 연락해 주세요.

스퍼터링 타겟 논의에 관심이 있으신 경우, 저희 팀에 연락해 주세요: Solar@Indium.com.

~짐