Indium-Recycling: Rotierende gegenüber planaren Indium-, CIG und ITO-Targets

Der Unterschied zwischen rotierenden und planaren Sputtertargets wurde bereits erläutert. Im Mittelpunkt dieses Beitrags stehen jedoch die Rückgewinnung und das Recycling von rotierenden und planaren Sputtertargets mit Indiumanteil. Kurz zur Auffrischung:

• Rotierende Targets eignen sich gut für kontinuierliche Sputterprozesse. Kontinuierliche Prozesse erhöhen die Durchsatzleistung, da der Zeitaufwand zur Vorbereitung der Sputterkammer geringer ist.
• Rotierende Targets sind bei Prozessen mit großen Stückzahlen kosteneffizienter. Sie bieten eine gute Plattform für laufzeitintensive Prozesse mit einem geringeren Fehlerrisiko und weniger Ausfallzeiten.
• Planare Targets eignen sich immer noch am besten beim Prototyping oder bei der grundlegenden Erprobung, insbesondere, wenn nicht sofort große Materialmengen erforderlich sind.

Lassen Sie uns jetzt den Rückgewinnungsprozess für unsere Kunden betrachten:

Im Allgemeinen ist der Prozess gleich, unabhängig davon, ob es sich um rotierende oder planare Targets handelt. Ein Muster des Materials wird eingesandt und analysiert. Der nächste Schritt ist dann eine Bewertung oder ein Angebot bezüglich des Materials. Wenn soweit alles gut aussieht, werden die alten Targets an die Indium Corporation gesendet und der Kunde für das Material bezahlt. Alternativ kann der Betrag für das rückgewonnene Material auch mit dem Betrag für neues Indium oder ein neues Target verrechnet werden.

Was das zurückgewonnene Material betrifft, enthalten alte planare Targets normalerweise mehr Indium – einfach wegen der für diese Targets typischen mangelnden Effizienz im Vergleich zur Magnetron-Technologie mit rotierenden Targets. Zum Ersatz eines planaren Targets würde ich ein NanoBond^®-Target empfehlen. Bei rotierenden Targets kann Indium in einem „hybriden Konsolidierungsprozess“ direkt auf das Trägerrohr produziert werden. Beide Technologien bieten die geringstmöglichen Bonding-Void-Ebenen.

Wenn Sie Anfragen bezüglich der Rückgewinnung haben, können Sie sich jederzeit an uns wenden: indiumreclaim@indium.com

Falls Sie am Thema Sputtertargets interessiert sind, sprechen Sie unser Team unter der folgenden Adresse an: Solar@Indium.com.

~Jim