铟把细微的特征电镀到掩模表面或其它底层
电镀铟凸块或其它细微特征到晶片和其它底层很有趣。理想的凸块大小和斜度越来越小。这里有你们需要知道的事情。
当我们选择在精确的位置上电镀铟时,工件的表面一般是掩模(指在铟被电镀到底层的位置所处的掩模洞孔)。因为产生的铟凸块理想的尺寸很小,同样,掩模的洞孔也很小。
因为氨基磺酸铟电镀溶液是一种化学溶液,溶液自然产生的表面张力会限制它渗透的洞孔尺寸。当然,如果没有渗透,则电镀溶液在工件的理想位置上就很少或者没有接触。在这样的情况下,如果没有共同防护,在这些位置上电镀铟的能力就会受到严重的影响。
这篇白皮书讨论一种新的技术,包括使用超音速能量帮助溶液渗透到掩模的洞孔。当然,这种技术可用以帮助电镀任何要求溶液渗入各种孔口或者小缝隙的工件。
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