CTE 미스매치 효과의 역전
물질 간 열팽창 계수(CTE) 차이는 이 물질이 강하게 접합되어 있을 때 문제를 일으킵니다. 과학 시간 중 이원금속 스트립 시험에서 보았던 적이 있듯이 상온에서 편평한 두 개의 얇은 물질로 항상 시연했던 것을 기억할 것입니다. 학생들이 보는 앞에서 접합된 두 물질은 가열되고 이 두 물질의 어셈블리가 확연히 둥그렇게 구부러졌습니다. 이것은 CTE 효과를 시각적으로 시연하는 방법으로 우수하지만 ΔT는 항상 상온이라는 조건을 생각하게 합니다. 동일한 이원금속 스트립이 더 높은 온도에서 편평하게 접합되었다면 가열되었을 때는 편평했지만 상온에서는 구부러진 어셈블리로 시연은 시작했을 것입니다. 이를 통해 작동 온도에서 스퍼터링 타겟의 접합 스트레스 제거:를 위해 실행했던 시험을 상상할 수 있습니다.
"결과는 [아래에] 나와 있습니다. 이것이 놀라운 일은 아니지만, 이는 제로 스트레스 포인트를 어느 온도에서나 설정할 수 있으며 이 온도에서 어셈블리를 접합할 수 있는 방법을 보여줍니다. 이 포인트를 시연하기 위해 섭씨 120°C에서 접합된 타겟 어셈블리가 접합 온도에서 재가열되었으며 편향이 제거되었습니다."
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