가변성 제로 스트레스 포인트
두 물질의 접합 온도가 해당 CTE가 측정되는 기본 온도가 된다는 것을 살펴보았습니다. 이를 "제로 스트레스 포인트"라고 하며 그 이유는 이 포인트에서 CTE 불일치로 인해 스트레스 및 변형이 일어나기 때문입니다. 매우 높은 온도(전통적인 접합에서 땜납 합금을 녹이기 위해 필요했음)에 가장 중요한 스트레스 온도를 설정하는 것이 아니라 저장과 작업 온도 사이의 전략적인 온도에 제로 스트레스 포인트를 설정하는 것이 훨씬 더 유용합니다. 이는 제로 스트레스 포인트 온도에서의 NanoBonding®으로 획득할 수 있습니다.
"가변성 스트레스 포인트를 사용하여 작업 온도나 이에 근접한 온도에 제로 스트레스 포인트를 설정함으로써 스퍼터링 작업 온도 중 낮은 스트레스 조건을 부여할 수 있습니다. 제로 스트레스 포인트 관련 이상적인 설정은 상온과 작업 온도 사이 중간 지점일 수 있습니다. 작업 온도에서의 스트레스와 곡률은 전통 접합 방식의 절반에 불과하기 때문입니다. 뿐만 아니라, 타겟 어셈블리는 저장 시 균등한(그러나 반대 방향의) 스트레스를 갖게 됩니다.
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